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全球首款 MEMS 超聲波飛行(xíng)時(shí)間(jiān) (ToF) 傳感器(qì)

  基于 MEMS 的微型“矽芯片聲呐”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有(yǒu)業內(nèi)最低(dī)的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器(qì)可(kě)用于距離測量、位置追蹤、人(rén)員存在檢測以及消費電(diàn)子、機器(qì)人(rén)、無人(rén)機等領域的避障應用。
 
  超聲波飛行(xíng)時(shí)間(jiān) (ToF) 傳感器(qì)通(tōng)常被認為(wèi)是适用于汽車(chē)、工業以及無人(rén)機和(hé)機器(qì)人(rén)應用的最佳距離傳感器(qì)。相比于光學傳感器(qì)或紅外傳感器(qì),它具有(yǒu)諸多(duō)優勢。它可(kě)提供最精确的距離測量,不受目标物體(tǐ)的尺寸或顔色的影(yǐng)響,也不受環境噪音(yīn)的幹擾,并且可(kě)以在陽光直射的環境下使用。這些(xiē)優點以及堅固耐用、精确和(hé)可(kě)靠的特點讓超聲波傳感器(qì)廣泛應用于工業及汽車(chē)應用。
 
  然而,直至今天,超聲波傳感器(qì)仍需要複雜的信号處理(lǐ),由于尺寸巨大(dà)而無法适用于消費電(diàn)子産品。
 
  千分之一的尺寸, 百分之一的功耗
 
  現在, TDK 公司推出了一個(gè)基于 MEMS 的微型超聲波傳感器(qì)産品,相比于傳統的超聲波傳感器(qì),它可(kě)以提供相同的性能和(hé)可(kě)靠性,但(dàn)其尺寸隻有(yǒu)傳統産品的千分之一,功耗低(dī)至傳統産品的百分之一。這種微型傳感器(qì)尺寸微小(xiǎo),可(kě)以集成到緊湊的消費品中使其具備超聲波檢測能力,
 
  例如,用于智能手機和(hé)可(kě)穿戴設備中。測量距離時(shí),這種傳感器(qì)首先發射超聲波脈沖,然後監聽(tīng)傳感器(qì)視(shì)場(chǎng)範圍內(nèi)目标物的反射回聲。每個(gè)回聲均以聲速傳播,通(tōng)過測量回聲的飛行(xíng)時(shí)間(jiān)可(kě)精确地測量傳感器(qì)至目标物的距離。
 
  圖 1: MEMS 超聲波傳感器(qì)的頂面和(hé)底面(左圖)。此傳感器(qì)方框圖顯示了與壓電(diàn)式 MEMS 超聲波傳感器(qì) (PMUT) 相連的 CMOS 片上(shàng)系統 (SoC)。
 
  目前,有(yǒu)兩種産品可(kě)向客戶提供工程樣品,即最大(dà)傳感範圍為(wèi) 100 cm 的 CH-101 型和(hé)最大(dà)傳感範圍為(wèi) 500 cm 的 CH-201 長距離型傳感器(qì)。這些(xiē)微型裝置采用了緊湊的 3.5 mm x 3.5 mmLGA 封裝,将壓電(diàn)式 MEMS 超聲波傳感器(qì)(PMUT)與定制(zhì)的 CMOS 片上(shàng)系統 (SoC) 結合在一起,完成了所有(yǒu)超聲波 ToF 信号處理(lǐ)過程(圖 1)。 CH-101 和(hé) CH-201 均采用 1.8 V 電(diàn)源供電(diàn),并具有(yǒu)方便的 I2C 接口,可(kě)方便地集成到消費電(diàn)子産品中。
 
  高(gāo)精度距離測量性能和(hé)寬視(shì)場(chǎng)
 
  盡管尺寸微小(xiǎo),這種全新的 MEMS 超聲波傳感器(qì)仍具有(yǒu)卓越的性能。例如, CH-201 在 120cm 處的距離測量信号噪音(yīn)僅為(wèi) 0.35 mm (1σ),是競品紅外 ToF 傳感器(qì)噪音(yīn)的百分之一。此外,CH-101 和(hé) CH-201 可(kě)提供視(shì)場(chǎng)(FoV)最高(gāo)可(kě)達到 180 °,因此隻需一個(gè)部件就能夠實現對整個(gè)空(kōng)間(jiān)範圍的檢測。還(hái)有(yǒu)多(duō)種外殼參考設計(jì)可(kě)供選擇,使得(de)客戶能通(tōng)過改變傳感器(qì)聲學端口周圍區(qū)域的形狀以聚焦和(hé)引導超聲波束,從而實現所需的水(shuǐ)平和(hé)垂直視(shì)場(chǎng)。
 
  120cm 處的距離噪音(yīn)目标距離帶有(yǒu)窄視(shì)場(chǎng)外殼時(shí)的視(shì)場(chǎng)
 
  圖 2: CH-201 型傳感器(qì)的距離噪音(yīn)僅為(wèi)傳統紅外 ToF 傳感器(qì)的百分之一(左圖)。窄視(shì)場(chǎng)外殼是可(kě)用的參考設計(jì)之一,可(kě)将傳感器(qì)超聲波束整形以實現預期的視(shì)場(chǎng)(右圖)。
 
  超低(dī)功耗的片上(shàng)系統 (SoC) 控制(zhì)整個(gè) ToF 處理(lǐ)過程:發送超聲波脈沖,将接收的超聲回波數(shù)字化,檢測 ToF 到最近目标并通(tōng)過 I2C 返回 16 位 ToF 信号。片上(shàng)系統 (SoC) 使喚醒檢測應用能夠始終處于工作(zuò)狀态;在每秒(miǎo) 1 次采樣測量的狀況下,總電(diàn)流消耗低(dī)至 8 µA。由于驅動程序采用 C 語言編寫,開(kāi)發者可(kě)以在嵌入式系統中輕松使用 CH-101 和(hé) CH-201。此外,單個(gè)微控制(zhì)器(qì)即可(kě)控制(zhì)多(duō)個(gè) CH-101 和(hé) CH-201 傳感器(qì),有(yǒu)助于實現複雜的多(duō)傳感器(qì)測量功能。
 
  極其廣泛的潛在應用
 
  全新的 MEMS 超聲波傳感器(qì)是無人(rén)機及機器(qì)人(rén)等應用注定要選擇的産品,在這類應用中,其它類型的距離傳感器(qì)無法提供所需的性能。它們也是智能音(yīn)箱等智慧家(jiā)庭産品的理(lǐ)想選擇,在這類應用中,被動紅外(PIR)和(hé)光學接近傳感器(qì)都沒有(yǒu)超聲波傳感器(qì)有(yǒu)效。這種微型超聲波傳感器(qì)還(hái)可(kě)以精确地追蹤目标物,例如,在虛拟現實和(hé)增強現實(VR/AR)系統中,追蹤手持式遊戲控制(zhì)器(qì)。智能手機是另一個(gè)重要的應用領域:由于 CH-101 具有(yǒu)寬視(shì)場(chǎng),即使安裝在手機的頂部或底部仍能夠實現精确的距離測量,因此設計(jì)師(shī)可(kě)以省略手機前面的光學接近傳感器(qì),從而實現手機全面屏設計(jì)。
 
  在距離測量和(hé)物體(tǐ)探測應用中,以前被迫在大(dà)尺寸超聲傳感器(qì)與基于激光的紅外 ToF 傳感器(qì)之間(jiān)選擇的設計(jì)師(shī)們現在可(kě)以受益于新型超聲波傳感器(qì)的能力:
 
  • 提供精确、低(dī)延時(shí)的距離測量結果,測量速度高(gāo)達每秒(miǎo)采樣 100 次,位置噪音(yīn)小(xiǎo)于1mm
 
  • 在人(rén)員接近、移動和(hé)活動檢測等應用中可(kě)實現傳感器(qì)始終保持工作(zuò)狀态,功耗低(dī)至 15µW
 
  • 探測物體(tǐ)的視(shì)場(chǎng)高(gāo)達 180°,因此一個(gè)傳感器(qì)就能夠檢測整個(gè)房(fáng)間(jiān)場(chǎng)景
 
  • 在所有(yǒu)照明(míng)條件下均能完美工作(zuò),即使在陽光直射的環境下
 
  • 可(kě)探測任何顔色的物體(tǐ),包括透明(míng)物體(tǐ),提高(gāo)了目标物探測能力
 
  • 通(tōng)過避免使用基于激光的紅外傳感器(qì)來(lái)保護眼睛
 
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